電子專用材料、電子元件及電路板等是電子行業(yè)的基礎產品，需求量大。在生產這些電子基礎配件的清洗、腐蝕、蝕刻等工藝過程中常常會伴隨產生排放量大、濃度高、毒性強的含氟廢水，其中氟是該工業(yè)廢水處理的踵點。盡管氟元素是人體需的微量元素之一，但過量攝入會對人體及生物造成嚴重危害。近年來，伴隨著氟化物的加工使用，尤其是電子行業(yè)和氟化工業(yè)的迅猛發(fā)展，含氟廢水排放量不斷上升，該廢水的合理收集和有效凈化處理成為實現(xiàn)清潔生產的關鍵。目前國內外處理含氟廢水的主要方法有化學沉淀法、混凝沉淀法、吸附法、反滲透法、離子交換法、電凝聚法、液膜法、共蒸餾法等，但大多數處理方法的出水水質不穩(wěn)定，二次污染較嚴重，因此在含氟廢水的實際處理過程中，更多地會采用多方法組合處理的工藝，如馬倩采用］在含氟廢水的+反滲透系統(tǒng)氟廢水的實際處理過程中，更多地會采用多方法組合65%以上。

本文以某電子行業(yè)企業(yè)含氟廢水處理工程為例，該企業(yè)在前清洗、腐蝕、蝕刻等生產過程中會產生含氟廢水，該廢水產生量大、濃度高、毒性強。綜合考慮該企業(yè)實際含氟廢水排放量、排放特點、處置目的和處置成本，該企業(yè)采用是人體需的微+袋式過濾器+三級樹脂柱+終端過濾箱子行業(yè)企業(yè)含氟廢水處理工程為例，該企業(yè)在前清洗、腐蝕、蝕刻等生產過程中會產生含氟廢水。

該企業(yè)含氟廢水處理工藝流程如圖1所示。含氟廢水回用系統(tǒng)的主要原理是離子交換，離子交換是借助于固體離子交換劑中的離子與稀溶液中的離子進行交換，以達到提取或去除溶液中某些離子的目的，是一種屬于傳質分離過程的單元操作。離子交換樹脂充夾在陰陽離子交換膜之間形成單個處理單元，并構成淡水室。離子交換速度隨樹脂交聯(lián)度的增大而降低，隨顆粒的減小而增大。離子交換是一種液固相反應過程，必然涉及物質在液相和固相中的擴散過程。企業(yè)含氟廢水經過陰離子交換樹脂將F－交換至樹脂中，產水回用至超純水系統(tǒng)進行進一步處理。含氟廢水回用系統(tǒng)主要步驟為:(1)將含氟廢水送入含氟廢水收集槽，進行化學混凝沉淀;(2)廢水泵入ACF吸附塔，然后送入袋式過濾器，進行活性炭吸附和袋式過濾，減少懸浮物、有機污染物、膠體對后續(xù)設備的影響;(3)廢水依次送入SAC樹脂塔、WBA樹脂塔和SBA樹脂塔，在去除氟離子的同時，降低廢水中電導率，以及控制pH值。

再生廢水和其余含氟廢水則采用兩級化學沉淀工藝處理，通過pH調整，添加CaCl2反應，形成氟化鈣沉淀后去除。在除氟的過程中，水中的磷也會以磷酸鈣的形式被去除;PAC混凝劑、PAM絮凝劑不僅可以去除廢水中的粒徑細小的懸浮顆粒，還能去除色度、油分等。

某電子行業(yè)企業(yè)排放的含氟廢水具有廢水量大、濃度高、毒性強的特點。針對其含氟廢水的特點，該企業(yè)采用沉淀處理工藝處+袋式過濾器+三級樹脂柱+終端過濾箱毒處理部分含氟廢水并回用，再生廢水和其余含氟廢水經兩級沉淀處理工藝處理后排放。結果表明，采用上述工藝既能通過回用滿足生產活動中用水的需求，又能實現(xiàn)含氟廢水處理后的達標排放。工程實例證明，該處理工程能大幅降低含氟廢水的排放量，運行穩(wěn)定且能夠達到清潔生產的要求。

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